利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量，從而測(cè)得與此有關(guān)的其他物理量。測(cè)量精度決定于測(cè)量光程差的精度，干涉條紋每移動(dòng)一個(gè)條紋間距，光程差就改變一個(gè)波長(zhǎng)，所以干涉儀是以光波波長(zhǎng)為單位測(cè)量光程差的，其測(cè)量精度之高是任何其他測(cè)量方法所不可比擬的。

 

　　白光干涉儀的優(yōu)勢(shì)：

　　簡(jiǎn)單易用：只需將樣品放置于樣品臺(tái)上，即可直接進(jìn)行測(cè)量；

 

　　可以測(cè)量非接觸式非平坦樣品：由于光學(xué)輪廓測(cè)量法是一種非接觸式技術(shù)，可以輕松測(cè)量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測(cè)量曲面的表面光潔度，紋理和粗糙度。除此之外，作為一種非接觸式方法光學(xué)輪廓儀不會(huì)像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。

 

　　無需更換耗材：只需要一個(gè)LED光源，無需其他配件更換；

 

　　可視化3D功能：具有強(qiáng)大的處理軟件，軟件除包括表面粗糙度，形狀和臺(tái)階高度的測(cè)量外，還可以任意角度移動(dòng)樣品量測(cè)三維圖形，多角度分析樣品圖像。

 

　　白光干涉儀的應(yīng)用：

　　對(duì)LED行業(yè)、太陽能行業(yè)、觸摸屏行業(yè)、半dao體行業(yè)以及數(shù)據(jù)存儲(chǔ)行業(yè)等，提供非接觸式測(cè)量方案，樣品從小至微米級(jí)別的微機(jī)電器件（MEMS），大到整個(gè)引擎部件，都可以獲得表面形貌、粗糙度、三維輪廓等數(shù)據(jù)。